音圈電機(jī)模組 被大力運(yùn)用于光刻機(jī)掩模臺(tái)系統(tǒng)。作為芯片制造的核心設(shè)備之一，光刻機(jī)對(duì)芯片生產(chǎn)的工藝有著決定性影響。

　　據(jù)悉，光刻機(jī)按照用途可分為生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)、封裝芯片的光刻機(jī)以及用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機(jī)。其中，生產(chǎn)芯片的High End光刻機(jī)是中國(guó)在半導(dǎo)體設(shè)備制造上的大短板。

　　生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)又根據(jù)工藝分為High End光刻機(jī)和Medium and low end光刻機(jī)，雖然在High End光刻機(jī)上被荷蘭的阿斯麥所壟斷，但在Medium and low end光刻機(jī)方面中國(guó)的技術(shù)已經(jīng)較為成熟，且不斷在向High End光刻機(jī)突破。

　　拿上海微電子裝備股份有限公司來(lái)說(shuō)，近幾年，其先后推出了IC前道制造光刻機(jī)SSX600系列光刻機(jī)、IC后道先進(jìn)封裝SSB500系列光刻機(jī)、LED制造SSB300系列光刻機(jī)、TFT曝光SSB200系列光刻機(jī)。

　　劃重點(diǎn)，上海微電子裝備股份有限公司是咱同茂的合作客戶，先后多次從我司購(gòu)入高性能音圈電機(jī)模組用于產(chǎn)品中，那音圈電機(jī)模組在光刻機(jī)中具體作用是什么？音圈電機(jī)模組主要用于光刻機(jī)掩模臺(tái)系統(tǒng)，在該系統(tǒng)中音圈電機(jī)模組運(yùn)動(dòng)工況分為掃描運(yùn)動(dòng)和定位運(yùn)動(dòng)，其中掃描運(yùn)動(dòng)主要完成硅片曝光處理，該運(yùn)動(dòng)對(duì)定位精度以及速度穩(wěn)定性有非常高的要求，在穩(wěn)定基礎(chǔ)上追求時(shí)間的優(yōu)化。音圈電機(jī)模組系統(tǒng)具有較低的阻尼比，是光刻機(jī)很重要的要件。

　　昆山同茂電子有限公司深耕音圈電機(jī)模組領(lǐng)域十余年，同茂造音圈電機(jī)模組均采用全新通用化設(shè)計(jì)，模塊化結(jié)構(gòu)集成音圈電機(jī)，具有高度的靈活性，適用于各種控制方式。

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